陈敬指出，PowerSAC基础器件方向的研究，高度仰赖科大的中央研发平台「罗台秦博士纳米系统制造实验中心」（NFF），他和团队多年来从中受益不少。NFF始建于1991年，是香港首间设于高等学府内的纳米制造实验所，旨在为微米、纳米器件及系统的研究与教学提供设备及技术支援，除服务科大全体教员外，亦支持本地其他院校从事相关研究的人员，并与内地和海外研究单位及商业机构合作。平台下设罗台秦博士纳米系统制造实验中心第二期、创新科技中心、深硅刻蚀工艺中心、纳米制造演示实验室及工艺实验室五个独立实验室，为不同工艺提供一系列设备。

表面钝化技术助业界发展

陈敬自2000年加入科大，现兼任NFF主任，一直专注氮化镓、碳化硅等核心元器件研究。他表示，现时市面上的功率开关器件，例如手机快速充电头，相比五、十年前体积更小、充电时间更短，不少产品都标示「GaN inside」，即以氮化镓材料制成；当中大概一半左右的器件，其制作过程上使用了科大开发的表面钝化技术，大幅提高了器件可靠性。他形容，表面钝化是半导体功率器件制造的关键步骤之一，业界广泛采用其实验室研发成果，显示科大成果真正影响了业界技术发展，并表示对此相当自豪。\大公报记者 柯慕蓉